| 真空箱槽尺寸圖[mm] | φ1700 |
| 傘架尺寸圖[mm] | φ1600 |
| 量[mm] | W5,000×D7,000×H3,024 |
| 信噪比[kg] | 9,341 |
| 排氣閥體系中 | 22 inchDP×2邁斯納冷阱 |
| 基材加熱 | 鹵化燈 or 蒸汽加熱絲 ~350℃ |
| 電子槍 | 180° or 270°導向型 |
| 化合物源 | 柵網式RF鐵離子源 φ130,180,230 |
| 光電膜厚儀 | Lafio Plus |
| 紅寶石膜厚儀 | 單 or 六連感應器 + COAT LEADER |
| 其它 | CP標準，TMP標準，拖動板組織 ，自公轉冶具, 阻蒸，直連監控錄像, ECO22 |
